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控制高純度系統中的細菌的方法之一是使用高純度水處理臭氧發生器作為消毒劑，有效的方法是將臭氧溶解于罐內的高純度水中，然后在將水送入分配循環之前去除臭氧。

大型臭氧消毒器的使用范圍 目前國內臭氧消毒滅菌主要應用于醫藥行業潔凈廠房、衛生行業手術室和手術器械、食品行業和環境、服裝材料和包裝材料等的消毒滅菌，并將臭氧消毒應用于水（醫療用水、自來水、礦泉水、啤酒、飲料等）的終端消毒，可以增加水中的含氧量，改善口感。

北京大型臭氧發生器污水處理 臭氧由三個氧原子構成，其氧化性僅次于氟，消毒性比氯還要強，而且無公害，既環保又良好的性能。