在工業污水、生活污水及醫院污水上的應用工業上幾乎都用電暈放電法來制取臭氧，這樣生產出來的臭氧適用于初步處理含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的污水，還適用于處理含Fe2+、Mn2+、氰、酚、親水性染料、細菌等污水。

由于水資源愈來愈緊張，工業及城市生活污水處理后經常回用，這就需要提高污水的處理標準。利用中水回用水處理系統臭氧發生器對水進行深度處理，可除掉水中各種雜質，從而達到回用標準。臭氧處理醫院污水可消毒殺滅細菌。若采用臭氧處理醫院污水，可截斷傳染源，免除后顧之憂。并且臭氧在幾分鐘之內可以將病毒全部殺死，比當量氯氣快200～3000倍。城市污水處理系統工程也已經開始使用大型臭氧發生器進行滅菌消毒除味脫色處理。在循環冷卻水和鍋爐給水中的應用在循環冷卻水中，需對水進行深度處理，臭氧可以除去形成污垢的雜質，防止阻塞管道。

在飲用水的應用上采用中水回用水處理系統臭氧發生器消毒滅菌是非常環保健康的，沒有二次污染物及殘留物的產生，對提高飲用水的質量非常有效。地表水中含有各種有機、無機以及各種細菌、病毒。地表水用臭氧進行深度處理后，基本上可以達到比較好飲用水的標準。有實驗表明水中臭氧濃度在0.4ppm時，只需一分鐘就可以將細菌和病毒全部殺死，它殺病毒比細菌消滅的速度更快。

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