煙氣脫硫脫硝臭氧發生器消毒氧化裝置是一種新型的同時脫硫脫硝去除技術，利用臭氧的強氧化性將煙氣中的NOx和SOx氧化成價格較高的水溶性化合物，然后通過濕法洗滌吸收。通過臭氧氧化和尾氣洗滌，NOx去除效率通常超過95%，SOx去除效率十分可觀。由于目前臭氧制備和儲存成本高，其應用范圍有限；國外煉油廠采用臭氧去除技術的應用案例相當多。近年來，隨著國家限制煙氣排放標準的提高，我國出現了一些采用這種工藝的單位。

臭氧脫硫脫硝工藝和傳統濕法脫硫工藝都有一套吸收塔系統。不同的是煙氣在進入吸收塔系統之前需要經過臭氧氧化。在自然界的所有化合物中，臭氧是僅次于氟的強氧化劑，所以臭氧容易分解，不易保存，一般都是在制備的時候使用臭氧。目前制備臭氧的方法主要有三種：光化學法、電化學法和電暈放電法。

光化學是指通過紫外線照射將氧氣轉化為臭氧的過程，是地球大氣中臭氧的形成機制和醫用臭氧的制備。

電化學方法通過消化純水產生臭氧。這種過程由來已久。目前其制備量已達到工業水平要求，臭氧產生量約為100g/h。

電暈放電法是目前工業臭氧生產中廣泛使用的方法。這項技術每單位可生產500公斤/小時的氧氣。該方法是通過在暈圈釋放區留下干燥的含氧氣體來制備臭氧的方法。

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