臭氧發生器消毒技術通過臭氧分解產生新的生態氧原子，能在水中形成強氧化的羥基自由基，能快速去除廢水中的有機污染物，并自身分解成氧氣，不會造成二次污染。

現有的臭氧發生器消毒技術一般以臭氧發生為原料，分為空氣、純氧和液氧。選擇液氧一般適合小規模規劃（臭氧量<100g/h），采用變壓吸附法或負壓吸附法現場處理純氧適合臭氧量<100g/h的規劃。使用干空氣產生的臭氧濃度一般在1%-3%之間，使用純氧或液氧產生的臭氧濃度可以達到10%左右，而使用空氣產生的臭氧功耗是其他兩種方法的兩倍。

臭氧作為一種無二次污染的效率高氧化劑，其氧化能力比普通氧化劑更強，氧化能力是氯氣的兩倍。臭氧可以去除微生物、水生植物、藻類等有機物的氣味，*。脫色可以比Cl2和ClO2更快更有效。加入臭氧可以改變小顆粒表面電荷的性質和大小，使帶電小顆粒聚集在一起；在臭氧發生器的共同作用下，也可以產生“絮凝”，對改善混凝效果有一定的作用。

臭氧發生器氧化技術提倡在腐殖質、藻類和酚類含量較高的水生植物中進行臭氧預處理，以避免脫氯困難。臭氧消毒的成本略高于二氧化氯，但從水質上看，臭氧發生器的成本高于二氧化氯。從經濟效益來看，兩種方法改善水質都是可以承受的。