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污水處理廠大型設備臭氧發生器是由高壓電離（或電解、化學、光化學反應）得到的強氧化劑。其產生過程是將空氣中的一些氧分解成氧原子，然后與氧分子聚合形成臭氧。

中大型水處理臭氧發生器能氧化分解細菌等微生物內葡萄糖所必需的酶，也能直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使微生物內的物質滲透變形，造成細胞的溶解死亡。

大型生活污水處理臭氧發生器能分解烴、醛、氰、酚、磷、硫、氧化氮、硝酸鹽等有機物質，能去除鐵、錳、鎂等金屬離子，含有酚類廢水，包括苯酚、三酚、甲酚、二甲酚等。