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在一定濃度下，大型臭氧發生器工業用水消毒設備產生的臭氧可與細菌、病毒等微生物產生生化反應，它可以氧化分解細胞中葡萄糖氧化所需的葡萄糖氧化酶，直接與細菌、病毒相互作用，破壞其細胞器和核糖核酸，破壞細菌的代謝生長和繁殖。

大型臭氧發生器供應商——和創智云HMS臭氧發生器，采用厚度為1.5mm的硼硅酸材料制成的玻璃放電體，不易破壞；采用硼硅玻璃和不銹鋼玻璃網的雙層放電管結構，絕緣體兩側產生臭氧，低能耗、高效率產生臭氧。

為避免產生氯難以去除，在水源中腐殖質、藻類、酚類含量較高的水廠，提倡用大型臭氧發生器氧化消毒設備來做預處理。