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污水處理用臭氧發生器設備在產生空氣中的氮氣（NZ）的同時，并沒有將其活化，因此不會產生含氮化合物等有毒物質，而且由于操作空間大，臭氧的應用范圍大大擴大。

臭氧發生器市政供水處理流程：①預臭氧：氧化溶解的鐵、錳離子脫色、脫臭、除味增強聚凝效果抑制三鹵甲烷生成后臭氧；②消毒（滅活病毒和原生生物），氧化有機物，EG酚類，清潔劑，殺蟲劑等，減少氯代消毒副產物，去除嗅味，改善水質、口感。

臭氧在廢水深度處理中的作用，主要是可以去除COD、BOD，并破壞有害的化學物，臭氧及其產生的活潑OH自由基使污水中發色基團的不飽和鍵斷裂生成小分子的酸和醛，生成了低分子量的有機物，從而使水體色度顯著降低。