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以氧氣為原料，利用水處理臭氧發生器產生臭氧，氧氣的純度可以直接關系到臭氧的產生和臭氧的純度。通過電暈放電產生臭氧，與水混合，變成臭氧水，有滅菌消毒等多種作用。

在自來水凈化處理中，傳統的標準凈水系統（絮凝、沉淀和過濾系統）無法從符合水質標準的水廠供水。由于凈水設施難以有效管理原水，因此需要額外的深水凈化設備，即自來水臭氧凈化系統。

與一些傳統的水消毒方法相比，使用自來水廠用臭氧消毒器對水生植物進行消毒效果更好。因為臭氧能比其他任何消毒方法更有效地滅活病毒和細菌，而且接觸時間非常短，從而減少了整個處理過程的停留時間，沒有化學殘留，沒有二次污染。