在飲用水處理中，地表水污水處理臭氧發生器空氣源的主要作用是氧化分解有機物，降低COD。臭氧將大分子有機物降解為小分子有機物，小分子有機物又降解為水和二氧化碳，并采用其它方法使有機物的去除更加經濟有效。在很多地區，水源水中的CODMn約為5-6mg/L，而新的飲用水標準規定CODMn應小于3mg/L，因此常規工藝不能滿足標準要求，臭氧處理是降解COD的有效方法之一。還能滅菌、消毒、除臭、脫色，去除鐵、錳等金屬離子，一般不產生二次污染物。臭氧作為消毒劑，對常見細菌、大腸桿菌、病毒等特別有效，其滅菌能力是氯系消毒劑的幾十到幾百倍。在足夠的CT（臭氧濃度×反應時間）條件下，可以控制對氯“兩蟲"的抗性。

隨著水資源的日益短缺，工業和城市生活污水往往經過處理后再利用，因此有必要提高污水處理標準。通過臭氧深度處理，可以去除水中的各種雜質，達到回收標準。用臭氧處理醫院污水、工業污水等，還可以有效地切斷病菌傳染源或污染物質，緩解后顧之憂。而且臭氧可以在幾分鐘內殺死全部病毒，比等效氯快200~3000倍。城市污水處理系統工程也開始使用大型臭氧發生器對生活污水進行滅菌除臭。當應用于循環冷卻水和鍋爐給水時，水需要進行深度處理。臭氧可以去除形成污垢的雜質，防止管道堵塞。

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