水處理臭氧發生器氧氣源的氧源選擇大致可分為以下幾種：

1）干燥空氣源：以無油壓縮空氣為原料氣體，經冷卻、干燥、過濾后。

2）富氧源：無油壓縮空氣經冷干處理后送至變壓吸附空分系統分離氮氣和氧氣，氧氣作為原料氣收集。

3）工業氧源：通常使用瓶裝工業氧（多適用于小型臭氧發生器）。

4）液態氧：液態氧經汽化器汽化減壓后作為原料氣送入臭氧發生器（大型臭氧發生器常用）。

當臭氧發生器日純氧需求量為5~10t/d時，氧源一般為液氧。當日純氧需求量大于10t/d時，應采用現場空氣制氧法。使用液氧時，至大加藥速率下液氧的儲存天數為3.8~7.0天，用空氣制氧時，備用液氧罐的儲存天數約為2.0天，均滿足《室外給水設計規范》（GB50013-2006）的要求。

為了保證水處理臭氧發生器氧氣源的安全經濟運行，對氧源的質量有一定的要求。水廠使用液氧時，一般要求氧濃度（95~99%）、露點（≤-70~-55℃）、碳氫化合物（<15~25ppm）、粒徑（<0.1~2.0um）、壓力（2.5~5bar）、溫度（5~30C）。用空氣制氧時，一般要求氧氣濃度（≥90%）、露點（≤-60℃）、碳氫化合物。15~25ppm，壓力（2.5bar）和溫度（5~30℃）。

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