高濃度氧氣源臭氧發生器氣源的重要性、氣體的性質（高濃度氧氣或空氣）和干燥度對臭氧發生器的效率和性能有重要影響。氣源中包含的水分和顆粒應被去除到非常低的限度，氣源中存在的雜質會沉積在電極表面并影響放電。源氣體中的水分會導致兩個嚴重的問題，其一，會造成臭氧產量急劇下降；第二，空氣中的一小部分氮氣會被氧化，溶解在水蒸氣中形成硝酸，對設備造成腐蝕。源氣體的露點應保持在-60℃以下，以防止此類事情發生。

當使用空氣作為氣源時，臭氧產量隨著濃度的增加而迅速降低。例如，當臭氧濃度為13g/m³（重量1.1%）時，每千瓦時產生35g臭氧，當臭氧濃度為20g/m³時，每千瓦時只能產生約28g臭氧。如果達到50g/m³的濃度，幾乎沒有產量。因此，當空氣用作空氣源時，通常使用約10~20g/m³（重量1~1.5%）的臭氧濃度。

以下原因使高濃度氧氣成為氣源：①高濃度氧氣的生產工藝保證了氣源的純度和低露點——很容易達到-60℃以下；②高濃度氧氣大大提高了臭氧發生器的效率和性能。比如使用高濃度氧氣（92%）時，當臭氧濃度為50g/m³（空氣法無法達到）時，設計良好的臭氧發生器每千瓦時電可產生100g以上的臭氧；③研究表明臭氧的溶解度符合亨利定律，這意味著臭氧濃度越高，臭氧的溶解效率越高，臭氧的溶解量也越高，將臭氧濃度從1%提高到4~6%，同樣的劑量可以使更多的臭氧溶解在水中，相應地提高處理效果；④高濃度臭氧氣體使溶解氣體體積減少到空氣法的1/5，增壓泵功耗僅為空氣法臭氧的1/5；⑤制氧系統提供的清潔環境可以延長臭氧放電模塊的使用壽命，相應降低系統的維護成本，分子篩變壓吸附制備高濃度氧氣源臭氧發生器在現代的重要性。