臭氧是一種強氧化劑，消耗低，反應速度快，無二次污染物致癌性，因此廣泛應用于飲用水、工業廢水、循環冷卻水等工業廢水的處理，以及食品、醫藥、造紙、化工、環保等行業。產生臭氧的方法有很多，包括靜電放電法、化學法、紫外輻射法和電解法。然而，目前大多數工業系統使用無聲放電方法來研究臭氧發生器。用工業水處理臭氧發生器的方法主要包括：放電單元（由電極和介質組成）、電源、入口準備和冷卻系統等。熱化理論產生的臭氧能量利用率的理論值是1200g/（kWh），但實際上遠遠達不到這個值，因為只有4%~12%的能量被用來形成臭氧，而剩余的能量全部轉化為熱量。

入口配料系統包括壓縮機、冷卻器、干燥器、過濾器、參數監視器等。它的功能是去除入口氣體中的雜質，提供合適的氣流速度和溫度，控制入口氣體的溫度，等等。在這些因素中，重要的是去除進氣中的水分，降低進氣中的濕度，即降低進氣中的露點，因為水分對臭氧的產生非常不利，也就是說，臭氧的輸出隨著露點的增加而減少。因為潤濕不僅改變氣體的性質，還會改變涂在電極上的介質的表面性質，如導電性，會減弱放電，減少臭氧的產生。工業臭氧發生器中使用的冷卻介質包括空氣或氧氣、水或油。在工業水處理臭氧發生器中，系統冷卻也很重要，因為產生臭氧時會產生大量熱量，溫度對臭氧有顯著影響。結果表明，隨著溫度的升高，臭氧的體積分數急劇下降，導致臭氧產量和生產率下降[15，28]。純氣源，10kHz電源，可達到400g/（kWh）-90℃的能量利用率。