凈水處理用臭氧發生器一般采用電暈放電法，其結構一般由電源系統、臭氧發生器（放電室）、氣源系統、散熱系統、外殼和控制系統組成。臭氧發生器的輸出選擇是根據水中臭氧濃度、氣液混合效率、處理水量等數據，通過科學計算確定的。，而不是根據一些數據機械地建議每噸水應該添加多少克臭氧。臭氧氣體是一種氣體。只有將其溶解在水中，使水中含有一定濃度的臭氧，并保持一定的反應時間，才能達到滅菌的目的。常用的臭氧和水的混合方法有氣泡、噴嘴、混合泵等。

臭氧氣體的分子式為O3，是氧的同構結構，由三個氧原子組成。它的化學性質非常活潑，很容易分解轉化成氧氣。其氧化能力非常強，在性質上僅次于氟化物F2，僅次于過氧化氫、高錳酸鉀鉀、二氧化氯等氧化劑，位居第二。由于其強氧化性，具有良好的滅菌、脫色、氧化和除臭功能，在與氧氣轉化過程中不會產生二次殘留物和污染物，這是臭氧在環保、飲用水處理、食品加工、醫療等領域的一大優勢。

凈水處理用臭氧發生器是將氧氣轉化為臭氧的裝置。通過模擬自然界中臭氧的產生過程，發現臭氧的產生過程主要包括光化學過程、電化學過程和電暈放電過程。利用高壓電暈介質阻擋放電，將氧氣解離成氧原子，然后高能離子與氧分子結合形成臭氧，從而產生臭氧。電暈放電是目前世界上一種常見的較為經濟的方法。