臭氧發生器在臭氣處理中的應用是利用介質阻擋放電使空氣中的氧分子產生游離氧。因為自由氧不帶彎曲平衡帶正負電子，氧分子需要結合產生臭氧。*，臭氧對無機物有很強的氧化分解作用，可以非常迅速地有效地處理惡臭氣體和其他異味。使用高能臭氧發生器分解異味中的細菌分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），然后通過臭氧停止氧化反應，比較*地達到除臭滅菌的目的。

臭氧化法是指惡臭氣體多為回收材料，氧化劑的化學性質更強，使臭氣中的凈化因子能更好的被氧化和區分，臭氣濃度能降低到以下。目前常用的氧化劑有臭氧和活性氧。它是利用臭氧的強氧化性氧化氣味中的化學成分，達到除臭目的的一種方法。氣味活潑的氣體很容易分解成氧氣，在濕度大的地方效果更明顯，所以經常在現場準備臭氧。在條件合適的情況下，臭氧和硫化氫的反應速度很快，只有一秒鐘，但要和待處理氣體快速均勻混合。

ROS氧化是指在ROS裝置中直接應用氧化能力強的ROS，氧化臭氣中的化學成分，污染氣體。ROS不是穩定狀態，而是在臭氧氧化或電場宏基的其他條件下的過渡狀態。是氧分子和臭氧分子之間的過渡態。如果使用高壓靜電特殊脈沖放電，高能活性氧會迅速與無機分子碰撞，活化破壞有機分子；也許高能活性氧可以對空氣中的氧分子產生二次活性氧，與有機分子反應，氧化無機分子，從而比較*地處理氣味。這就是臭氧發生器在臭氣處理中的應用。