消毒處理用臭氧發生器是產生臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧氣體易分解，無法儲存，需要現場使用（特殊情況下可短時間儲存）。因此，臭氧發生器需要用在任何需要臭氧的地方。臭氧發生器已廣泛應用于飲用水、污水、工業氧化、食品加工和保鮮、藥物合成、空間滅菌等領域。臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接使用，也可以將裝置和液體混合參與反應。

臭氧氣體的半衰期只有30-60毫秒。由于不穩定，可分解性強，不能作為普通產品儲存，需要現場生產。空氣中臭氧的濃度一般為10-20毫克/升，氧氣中臭氧的濃度為20-40毫克/升..臭氧含量1%-4%（質量比）的空氣可以用來消毒水。

臭氧是以排放干氣或干氣為原料產生的。產生臭氧的另一種方法是電解，將水電解成氧氣，然后將游離氧氣轉化為臭氧。臭氧發生器使用消毒的主要優點如下：

（1）無離子污染；

（2）消毒處理所用的水是產生臭氧的原料，因此沒有來自系統外的其他污染；

（3）臭氧處理的終身成就，即可以用較少的設備處理臭氧。在壓力下，可以產生更高濃度的臭氧。

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