臭氧發生器常用的氣源大體可分為下列幾種:
1)干燥空氣氣源——無油的壓縮空氣經過冷卻、干燥、過濾處理后作為原料氣使用;
2)富氧氣源——無油壓縮空氣經過冷干處理送入PSA空分系統將氮氣和氧氣分離,并將氧氣收集作為原料氣(此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮氣,并非純氧氣所以稱為富氧源);
3)工業氧氣源——通常使用瓶裝工業氧氣(大多適用于小型臭氧發生器);
4)液氧——液態氧經過汽化器汽化減壓后送入臭氧發生器作為原料氣(常用于大型臭氧發生器)。
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