循環消毒處理臭氧發生器能產生臭氧。大氣中的氧氣含量在20%左右。利用空氣產生臭氧就會有效果，而且會通過環境空氣中的氧氣產生臭氧。氧氣濃度越高，會產生越多的臭氧。很多臭氧發生器都會安裝一臺制氧機，以增加進料氣中氧的含量，增加臭氧的總量。采用空氣或氧氣進口氣體，關鍵在于空氣必須*清潔和干燥，以消除臭氧產生危險副產物的可能性。由于電暈放電在臭氧發生器中的細微差別，它們被稱為多種物質。人們創造了像“冷等離子體”、“等離子發生器”、“冷電暈”這樣的名字。這些是基本的電暈放電型臭氧發生器的變種。

當臭氧水從水箱中抽出并泵入分配回路時，在抽完之后，臭氧會破壞臭氧，從而使臭氧消失。當流速相同時，該紫外光波長為254nm，比無菌紫外光高3-4倍。在臭氧被紫外線破壞后，水通過臭氧傳感器，確認臭氧沒有殘留。高純水隨后通過分配循環分配給用戶。這種傳感器通常使用高臭氧報警器來警告操作者紫外線輻射是否正常。

為控制環路中微生物生長，應定期使用循環消毒處理臭氧發生器消毒環路。通過關閉破壞臭氧層的紫外線和使水箱內臭氧水循環回路達到預定時間(一般為30分鐘至一小時)，就可以實現這一目標。在循環消毒過程中，為了確保殺滅微生物，容器內臭氧的濃度也可以提高到很高的水平(0.3-0.5ppm)。為檢驗消毒效果，回路返回時使用了另一種臭氧傳感器。如果傳感器顯示出穩定的讀數，就意味著不再消耗臭氧層，可以開始消毒。為使消毒效果達到較好，每個用戶點都應在消毒過程中短暫開啟，使有臭味的水流對閥門下游的那些區域進行沖洗和消毒。