自來水廠臭氧發生器設備殺滅率高，速度快，對有機污染物殺滅比較*地，無二次污染，因此，飲用水消毒是臭氧應用的主要環節，自來水行業是臭氧的大市場。氯消毒廣泛應用于水廠，但是臭氧可以更快更好地殺死細菌，這也是當前臭氧代替氯消毒的主要因素也是美國、日本等傳統使用氯消毒的國家發展迅速的主要原因。由于水源受到有機工業產品的污染，氯消毒后會產生氯、溴二氯甲烷、四氯化碳等氯化有機物（THM），具有致癌性，在臭氧處理過程中不會產生二次污染化合物。目前國內許多大型水廠均已采用臭氧發生器來凈化水質。

自來水廠臭氧發生器設備預處理是針對傳統工藝的缺點。為了強化水處理工藝，提高處理后的出水質量，采用物理、化學或生物方法去除污染物，尤其是常規工藝無法有效去除的污染物。同時可以使常規處理工藝的效果更好，減輕常規處理和深度處理的負擔，充分發揮其整體功能。生物預處理接觸氧化法的核心是填料和運行方式，運行方式與具體的填料密切相關，因此填料的選擇成為其關鍵。由于水源受到污染，傳統的水處理工藝不能滿足飲用水或工業用水的質量要求，用于自來水處理的臭氧發生器在給水預處理領域便得到了廣泛的應用和研究，并取得了顯著的效果。相關政策也提倡充分使用臭氧來完成相關凈化工作。